實驗中當我們想要對各種材料的表面做清洗活化腐蝕沉積或者聚合等操作的時候，必不可少的就是一臺低溫等離子處理設備，而作為實驗室經常使用的高精尖設備，如果使用低溫等離子設備的操作不當很有可能導致設備損壞或者運行結果受到影響，低溫等離子清洗設備使用的注意事項。
一，低溫等離子清洗設備在運行的時候對于電源的要求是220V的交流電頻率為50HZ的電源，應該在開啟設備之前做好電源的連接和檢查工作，設備運行之后應該發出的是平穩的運轉聲，而且通常會有綠色的指示燈常亮來顯示設備正常運行，如果出現黃色故障燈亮起，則要停止運行進行排休檢查。
二，在使用三和波達低溫等離子清洗設備的時候，應該特別注意紅色的警示燈，通常設備運行出現問題或者抖動頻率過快的情況下紅色燈會常亮，這個時候應該馬上按下復位鍵觀察設備，如果設備依然出現異常則應該停止設備的運行，然后進行故障的排查，以避免設備出現損壞。
三，在使用低溫等離子清洗設備的時候要定期清洗，而清洗的時候必須要先斷開電源，然后再打開真空倉和電控箱，而且注意按照說明書上要求的規范清洗，除此之外現在很多低溫等離子設備的真空倉都是外置環形電級所以不容易出現腔內污染。
綜上所訴可知：等離子清洗技術適用于對物體表面的油，水及微粒等輕度油污進行清洗，而且利于“速戰速決”的在線或批量清洗。以上提到的幾點基本上是所有類型的低溫等離子清洗設備的使用注意事項，而隨著設備的種類日漸繁多，操作人員在使用前應該詳細閱讀并了解使用說明才行，很多低溫等離子設備還需要操作人員受到上崗培訓才行。而且隨著很多低溫等離子設備開始帶有自潔功能，設備的日常保養也變得更加簡潔。等離子體放電過程中產生臭氧的基本原理是含氧氣體在放電反應器內所形成的低溫等離子體氛圍中，一定能量的自由電子將氧分子分解成氧原子，之后通過三體碰撞反應形成臭氧分子，同時也發生著臭氧的分解反應。
臭氧，化學分子式為O3，又稱三原子氧、超氧，因其類似魚腥味的臭味而得名，在常溫下可以自行還原為氧氣。比重比氧大，易溶于水，易分解。由于臭氧是由氧分子攜帶一個氧原子組成，決定了它只是一種暫存狀態，攜帶的氧原子除氧化用掉外，剩余的又組合為氧氣進入穩定狀態，所以臭氧沒有二次污染。
如果我們通入的氣體中含有氧氣，那么在反應過程中就會產生少量的臭氧，正是因為有臭氧的產生，所以我們在使用真空等離子表面處理機活化特點：
在等離子體作用下，難粘塑料表面出現部分活性原子、自由基和不飽和鍵，這些活性基團與等離子體中的活性粒子接觸會反應生成新的活性基團。但是，帶有活性基團的材料會受到氧的作用或分子鏈段運動的影響，使表面活性基團消失。
在等離子體對材料表面改性中，由于等離子體中活性粒子對表面分子的作用，使表面分子鏈斷裂產生新的自由基、雙鍵等活性基團，隨之發生表面交聯、接枝等反應。
反應型等離子體是指等離子體中的活性粒子能與難粘材料表面發生化學反應，從而引入大量的極性基團，使材料表面從非極性轉向極性，表面張力提高，可粘接性增強。
此外，難粘材料表面在等離子體的高速沖擊下，分子鏈發生斷裂交聯，使表面分子的相對分子質量增大，改善了弱邊界層的狀況，也對表面粘接性能的提高起到了積極作用”。
反應型等離子體活性氣體主要是02、H：、NH3、C02、H20、S02、H√H20、空氣、甘油蒸汽和乙醇蒸汽等。
