等離子清洗機的頻率有40KHZ,13.56MHz,2.45GHz這幾種,其中前面兩種較為常見,達因特作為專業生產等離子清洗機的廠家,為大家解析一下不同頻率等離子的應用范圍:
40kHz,屬于中頻頻率,應用于真空等離子清洗機大腔體,特點是等離子能量高,但是等離子密度小,無需匹配,成本較低。常規是5千瓦至20千瓦。射頻電源:頻率13.56Mhz,功率0-600W可調,全自動真空電容匹配器。另可匹配中頻電源,頻率40KHz,功率0-5KW可調
13.56MHz,射頻,*常用的電源,特點是等離子能量低,但是等離子密度高。效果均勻,而成本稍高。常規是100瓦至1000瓦。一般應用于常規的大氣等離子清洗機。
2.45GHz,微波,成本太高,目前應用較少。
能夠做等離子體表面活化,等離子體蝕刻,等離子涂層(PCVD)各種各樣的材料和基板的所有方面的產業。許多客戶使用場外等離子清洗和蝕刻服務時,他們的生產超過他們的內部能力,他們需要額外的幫助,以滿足*后期限。